日本將于7月起對(duì)華實(shí)施芯片設(shè)備出口管制

2023-05-24 10:02:35 本文約有840個(gè)字，預(yù)計(jì)閱讀時(shí)間為3分鐘

754

文章標(biāo)簽：

日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省正式公告針對(duì)高端半導(dǎo)體設(shè)備的出口管制措施，并將于7月開始實(shí)施，措施內(nèi)容符合我們先前預(yù)期。主要影響為清單內(nèi)的6大類23種高端半導(dǎo)體設(shè)備（或物項(xiàng)）未來對(duì)華出口需申請(qǐng)?jiān)S可證。中國(guó)大陸為日本主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要收入來源地區(qū)之一，出口限制主要針對(duì)先進(jìn)芯片制造，符合預(yù)期，否則若全面限制、日本半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)也會(huì)有較大沖擊。建議關(guān)注成熟制程擴(kuò)產(chǎn)持續(xù)、先進(jìn)制程國(guó)產(chǎn)替代力度有望加大背景下的半導(dǎo)體設(shè)備/零部件環(huán)節(jié)。

▍2023年5月23日，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省發(fā)布省令，正式出臺(tái)針對(duì)23種半導(dǎo)體制造設(shè)備（或物項(xiàng)）的出口管制措施，并將于7月23日開始實(shí)施。

該措施內(nèi)容與3月31日的征詢公眾意見稿基本一致，符合先前預(yù)期（可參考《電子行業(yè)半導(dǎo)體重大事項(xiàng)點(diǎn)評(píng)—日本限制半導(dǎo)體設(shè)備出口，持續(xù)看好半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化機(jī)會(huì)》（2023-4-23））。

▍本次措施主要是增加了6大類23種管制物項(xiàng)，對(duì)華出口需申請(qǐng)?jiān)S可。

在清單內(nèi)的受管制物品在向中國(guó)大陸、俄羅斯等地區(qū)出口時(shí)，需要獲得日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的許可證。清單主要針對(duì)高端半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其是特別聚焦了ArF浸沒式光刻、EUV配套設(shè)備及部件、鈷/鎢等金屬沉積、高深寬比刻蝕和硅鍺刻蝕等技術(shù)指標(biāo)較高、材料特殊、在先進(jìn)制程有針對(duì)性應(yīng)用的半導(dǎo)體設(shè)備品種，而光刻膠等日本優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體材料則未在限制行列之中。

▍具體這6大類23種半導(dǎo)體制造設(shè)備（或物項(xiàng)）主要包括：

1）光刻（4項(xiàng)）：ArF浸沒式光刻機(jī)、用于EUV光刻的涂膠顯影設(shè)備、用于EUV光刻的光罩護(hù)膜（清單中唯一一種非設(shè)備品種，用于EUV光罩的配套）及其生產(chǎn)設(shè)備。其中EUV光刻機(jī)（僅荷蘭ASML提供）的采購(gòu)國(guó)內(nèi)長(zhǎng)期受限，日本限制EUV配套產(chǎn)品沒有實(shí)質(zhì)影響，而ArF浸沒式光刻機(jī)日本尼康有相關(guān)產(chǎn)品，未來需觀察許可實(shí)際發(fā)放情況。

2）刻蝕（3項(xiàng)）：高深寬比刻蝕、硅鍺刻蝕等。

3）薄膜沉積（11項(xiàng)）：用于鈷、鎢、鉬、釕等金屬薄膜、Contact層、Low-k等介質(zhì)、掩膜版、硅和硅鍺外延等沉積的PVD/CVD/ALD/EPI薄膜沉積設(shè)備。

4）熱處理（1項(xiàng)）：用于、鈷、鎢的低壓退火設(shè)備。

5）清洗（3項(xiàng)）：銅膜清洗、干法清洗、晶圓改性后干燥的單片濕法清洗。

6）檢測(cè)（1項(xiàng)）：EUV光刻掩膜版檢測(cè)設(shè)備。

物項(xiàng)清單雖未明確說明設(shè)備對(duì)應(yīng)的制程節(jié)點(diǎn)，但技術(shù)指標(biāo)、應(yīng)用于具體材料和工藝的描述均具有較強(qiáng)的針對(duì)性，主要面向與先進(jìn)制程相關(guān)的設(shè)備品種。

▍中國(guó)大陸為日本主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要收入來源地區(qū)之一，本次出口限制主要針對(duì)高端半導(dǎo)體制造，符合我們先前預(yù)期。

以日本半導(dǎo)體設(shè)備公司東京電子（TEL）、迪恩士（DNS）和尼康公司（Nikon）為例，三家公司2022年報(bào)（2021.4.1-2022.3.31）中國(guó)大陸客戶營(yíng)收占比分別為28.3%、26.2%、28.4%，均為其最大收入來源地區(qū)。本次出口限制主要針對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體制造，符合我們先前預(yù)期。否則若日本對(duì)華成熟芯片相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備也實(shí)際施加限制，則將會(huì)影響日本相關(guān)設(shè)備公司的營(yíng)收，長(zhǎng)期削弱日本在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的份額優(yōu)勢(shì)，同時(shí)中國(guó)本土技術(shù)生態(tài)鏈有望在重壓下加速本土替代。