光刻機是半導(dǎo)體行業(yè)的明珠，美國希望在這個領(lǐng)域牢牢掌握主動權(quán)，因此對中俄等均進行嚴(yán)格的限制和制裁，中國一直沒有最先進的EUV光刻機。而在俄烏沖突之際，昨天，美國更是對俄羅斯最大的芯片制造企業(yè)Mikron進行全方位制裁。近日，據(jù)俄羅斯媒體報道稱：俄羅斯將研發(fā)當(dāng)前全球最先進的X射線光刻機，或許比ASML的EUV光刻機性能更先進。

投資6.7億盧布

4月2日消息，據(jù)報道，俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院 (MIET)承接了貿(mào)工部開發(fā)制造芯片的光刻機項目，該項目由俄羅斯政府首期投資6.7億盧布資金（約合5100萬元人民幣）。研發(fā)的光刻機計劃達(dá)到EUV級別，但技術(shù)原理完全不同，是基于同步加速器和/或等離子體源”的無掩模X射線光刻機。

“MIET已經(jīng)在無掩模EUV光刻領(lǐng)域取得了進展，包括與國內(nèi)其他科研機構(gòu)和科學(xué)家團體聯(lián)合開展的研究。該項目還將涉及 Zelenograd 公司 ESTO 和 Zelenograd 同步加速器，現(xiàn)在是國家研究中心庫爾恰托夫研究所的技術(shù)儲存綜合體 (TNK) Zelenograd。

“基于在該國運行和發(fā)射的同步加速器，特別是在 TNK Zelenograd 的同步加速器以及國內(nèi)等離子源的基礎(chǔ)上，創(chuàng)造技術(shù)和設(shè)備，將使處理具有設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體晶片成為可能28 nm、16 nm 及以下，”聲明說。招標(biāo)文件包含這項研究工作（研發(fā)）的要求。“無掩模X射線納米光刻技術(shù)和正在開發(fā)的設(shè)備在國內(nèi)和世界上都沒有類似物。”

工貿(mào)部與 MIET 簽訂的合同價格為 6.7 億盧布。

“我們談?wù)摰氖情L期的研發(fā)工作，從好的方面來說，這應(yīng)該在 15 年前就開始了，”關(guān)于這個項目的 Stimulus 雜志出版物的作者 Alexander Mechanik說。”

俄羅斯光刻機技術(shù)

目前，EUV光刻機全球只有ASML公司能夠研發(fā)、生產(chǎn)，但它的技術(shù)限制也很多，俄羅斯計劃開發(fā)全新的EUV光刻機，使用的將是X射線技術(shù)，不需要光掩模就能生產(chǎn)芯片。

光刻機的架構(gòu)及技術(shù)很復(fù)雜，不過決定光刻機分辨率的主要因素就是三點，分別是常數(shù)K、光源波長及物鏡的數(shù)值孔徑，波長越短，分辨率就越高，現(xiàn)在的EUV光刻機使用的是極紫外光EUV，波長13.5nm，可以用于制造7nm及以下的先進工藝工藝。

技術(shù)優(yōu)勢

X射線光刻機使用的是X射線，波長介于0.01nm到10nm之間，比EUV極紫外光還要短，因此光刻分辨率要高很多。

此外，X射線光刻機相比現(xiàn)在的EUV光刻機還有一個優(yōu)勢，那就是不需要光掩模版，可以直寫光刻，這也節(jié)省了一大筆費用。

正因為有這么兩個特點，俄羅斯要研發(fā)的X射線光刻機優(yōu)勢很大，甚至被當(dāng)?shù)氐拿襟w宣傳為全球都沒有的光刻機，ASML也做不到。

從相關(guān)資料來看，全球確實沒有能達(dá)到規(guī)模量產(chǎn)的X射線光刻機，不過這種技術(shù)并不是現(xiàn)在才有，不僅美國、歐洲研究過，國內(nèi)也有科研機構(gòu)做了X射線光刻機，只是生產(chǎn)芯片的效率跟ASML的光刻機不能比的，只適合特定場景。

不過俄羅斯在X射線及等離子之類的技術(shù)上有著深厚的基礎(chǔ)。

莫斯科電子技術(shù)學(xué)院

國立研究型大學(xué)“莫斯科電子技術(shù)學(xué)院”（俄語：Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»），簡稱莫電子（МИЭТ，MIET），是俄羅斯的一所國立研究型高等院校，1965年建校。特色學(xué)科為微電子學(xué)、信息技術(shù)和計算機工程。

MIET 開展的研究和開發(fā)領(lǐng)域由大學(xué)的專業(yè)培訓(xùn)領(lǐng)域有：

電子學(xué)和納米電子學(xué)

無線電工程

材料科學(xué)與技術(shù)、納米材料

技術(shù)領(lǐng)域安全

信息學(xué)和計算機工程

技術(shù)系統(tǒng)中的控制

信息安全

生物技術(shù)系統(tǒng)和技術(shù)

信息通信技術(shù)和通信系統(tǒng)

微納米系統(tǒng)技術(shù)

電子手段的設(shè)計與技術(shù)

應(yīng)用信息學(xué)

軟件工程

管理

學(xué)院共有學(xué)生6500多人，其中研究生250多人、副博士（按照歐美及中國學(xué)制為Phd學(xué)位）270人、博士5人。

1965年12月9日，根據(jù)前蘇聯(lián)高等教育部命令正式成立。

1966年，莫斯科礦業(yè)學(xué)院教授列昂尼德·葉爾紹夫被委任為代理校長。同年9月，招收了第一批學(xué)生。

1974年，雕塑家恩斯特·涅茲韋斯特內(nèi)伊對主樓圖書館的外墻進行了裝飾。

1984年，獲授勞動紅旗勛章。1992年蘇聯(lián)解體后，獲得俄羅斯國立高等院校的地位。

2010年4月，通過俄羅斯教育科技部的“國家研究型大學(xué)”標(biāo)準(zhǔn)化考核。

2011年，更名為現(xiàn)在的“莫斯科電子技術(shù)學(xué)院”。

據(jù)官方介紹：

“MIET”是俄羅斯高科技領(lǐng)域領(lǐng)先的技術(shù)大學(xué)?，F(xiàn)代實驗室、對教育過程的全新認(rèn)識以及教育、科學(xué)和工業(yè)的獨特整合，使 MIET 成為微電子和納米電子、電信和信息技術(shù)領(lǐng)域培訓(xùn)專家的領(lǐng)導(dǎo)者。該大學(xué)是俄羅斯大學(xué)發(fā)明活動排名中最強大的三所大學(xué)之一，是莫斯科國立大學(xué)排名中排名前五的技術(shù)大學(xué)之一，也是著名的英國出版物《泰晤士報》排名前 20 位的俄羅斯大學(xué)之一高等教育。

現(xiàn)在，MIET是一所擁有半個世紀(jì)歷史和傳統(tǒng)的高等教育機構(gòu)。這是一所關(guān)心學(xué)生個人和職業(yè)成長、身體發(fā)育、心理舒適、健康和安全的大學(xué)。這是未來科學(xué)家和企業(yè)家尋求支持并邁出成功第一步的地方。這是一種讓畢業(yè)生對勞動力市場充滿信心并在生活中實現(xiàn)自我的教育。

俄羅斯研發(fā)EUV的成功概率有多大？

俄羅斯的半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)并不發(fā)達(dá)，但是并不代表俄羅斯的科技能力差。眾所周知，俄羅斯擁有全世界最頂尖的數(shù)學(xué)人才，華為俄羅斯研發(fā)中心都聘請了數(shù)名頂尖俄羅斯數(shù)學(xué)家，坊間盛傳當(dāng)年華為3G技術(shù)的突破就是得益于一位俄羅斯數(shù)學(xué)家“小哥”的SingleRAN 算法。

因此，盡管業(yè)界并不看好俄羅斯研發(fā)EVU光刻機的前景，但有著豐富技術(shù)人才的俄羅斯并不是不可能，況且，俄羅斯真金白銀投資6.7億盧布資金（約合5100萬元人民幣），對于發(fā)達(dá)國家來說雖然很少，但首期投入這么多資金，對于俄羅斯的薪資水平和試驗設(shè)備來說是不低的。

同時，筆者Challey認(rèn)為，如果俄羅斯真的投入研發(fā)，很多其他國家，譬如中國，或許會加入俄羅斯的EUV光刻機研發(fā)之中，以打破歐美對于最先進芯片技術(shù)的壟斷。

但是，另一方面，據(jù)估計，自俄烏沖突以來，有多達(dá)7萬名計算機專家被突然出現(xiàn)的商業(yè)和政治氣候的冰霜所嚇倒并離開了俄羅斯。

或許，俄羅斯未來需要擔(dān)心的不是資金，而是人才的回流。

來源：電子工程專輯